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    無塵室烤箱,半導體專用無塵烤箱

    產品屬性本產品采購屬于商業貿易行為

    無塵室烤箱,半導體專用無塵烤箱
    • 市場價格: 電議
    • 產品型號:
    • 更新時間: 2022/6/25 19:16:55
    • 發布時間: 2018/7/23 14:05:51
    • 生產地: 中國大陸
    • 訪問次數: 2863次
    • 公司名稱: 上海雋思實驗儀器有限公司

    企業檔案

    上海雋思實驗儀器有限公司

    9 營業執照已上傳

    企業類型:生產商

    公司地址:上海奉賢柘林工業區3213號

    主營產品:HMDS預處理系統,HMDS烤箱,潔凈烤箱,無氧烤箱,無塵無氧固化烤箱,LED烤箱,UV固化烤箱,隧道烘箱,黑蒜設備,黑蒜發酵設備,HMDS真空烘箱,HMDS烤箱,高低溫試驗箱,溫濕度試驗箱,真空干燥箱電纜切片機,削片機,交聯電纜切片機拉力機,拉力試驗機,試驗機,測量投影儀,電纜截面投影儀,電纜測量投影老化試驗機,二次元,三次元,老化房定做,過渡電阻測試儀,絕緣電阻測試儀,電橋氣候環境試驗設備、各類烘干設備及實驗室儀電線電纜燃燒分析檢測設備,拉力試驗機

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    產品簡介

    無塵室烤箱,半導體專用無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;HMDS無塵烤箱可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

    詳細內容

    公司簡介

     無塵室烤箱,半導體專用無塵烤箱簡介

       無塵室烤箱,半導體專用無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;HMDS無塵烤箱可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

    無塵室烤箱,半導體專用無塵烤箱特點

    溫控系統:采用進口溫度控制器,內置斜率設定、PID自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多種功能采用橫河六通道巡回檢測,記錄儀,可將烤箱內實時環境溫度進行檢測打;

    軟件系統:控制系統采用三菱系列高速型邏輯控制器,可與現場總線聯機遠程操控;

    HMDS烤箱的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。

    充氮系統:作用是在置換過程中,用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽,從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成。

    無塵室烤箱,半導體專用無塵烤箱的用途

    百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

    無塵無氧烤箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.

    無氧烤箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.

    HMDS無塵烤箱降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關行業。在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。


    關鍵詞:無塵室烤箱  半導體專用無塵烤箱  

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